Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Алексахин А.В.
Заглавие : Разработка автоматизированной системы выбора оптимального технологического процесса разделения слитков на пластины
Место публикации : КИП и автоматика обслуживание и ремонт. - М., 2019. - № 3. - С. 64-77
Примечания : Библиогр.: с. 12 назв.
Предметные рубрики: Автоматизация производственных процессов
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): обрабатывающая промышленность--резка слитков--автоматизация.
Аннотация: Представлен анализ возможности создания автоматизированных систем оптимизации технологического процесса резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины. Приведен обзор методов алмазно-абразивного разделения твердых хрупких материалов на пластины. Описаны методы изготовления режущих кромок инструмента со связанным абразивом, используемого для резки твердых хрупких материалов (ТХМ). Проведен анализ современных взглядов на механизмы разрушения ТХМ при грубой абразивной обработке и строение нарушенного слоя после такой обработке. Описаны методы исследования структурно-дефектных слоев в монокристаллах.
Держатели документа:
РНТБ