Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Толстенок О.А., Холомина Т.А. Заглавие : Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков : материал технической информации Место публикации : Измерительная техника. - М., 2004. - №8. - С. 66-71 Примечания : Библиогр.: 6 назв. Предметные рубрики: Измерения радиотехнические Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик давления--кремниевая мембрана--передача энергии--полупроводник Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Холомина, Т.А.