Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Котенев В. А., Заглавие : Цифровая модуляционная эллипсометрия в контроле роста термооксидных слоев / В. А. Котенев Колич.характеристики : Место публикации : Защита металлов. - М., 2003. - Т. 39, №3. - С. 291-299. ISSN: 0044-1856 Предметные рубрики: Испытания материалов Товароведение Силовые станции Общая энергетика Экземпляры :(1) Свободны : (1) Держатели документа: РНТБ