Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Автор(ы) : Бабаевский П.Г., Резниченко Г.М., Жуков А.А., Жукова С.А., Гринькин Е.А. Заглавие : Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Ч. 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - М., 2008. - № 12. - С. 32-44 Примечания : Библиогр.: 78 назв. Предметные рубрики: Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Бабаевский, П.Г.; Резниченко, Г.М.; Жуков, А.А.; Жукова, С.А.; Гринькин, Е.А.