Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Королев А.Н., Коротков В.И., Лукин А.Я., Пулькин С.А., Сизов А.Л. Заглавие : Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра : материал технической информации Место публикации : Измерительная техника. - М., 2005. - №4. - С. 29-33 Примечания : Библиогр.: 9 назв. Предметные рубрики: Измерения линейные и угловые Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интерференция--нанометрология--мера высоты--нанотехнологии--лазер Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Королев, А.Н.; Коротков, В.И.; Лукин, А.Я.; Пулькин, С.А.; Сизов, А.Л.