Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Белозубов Е.М., Васильев В.А., Громков Н.В. Заглавие : Нано-и микроэлектромеханические системы- основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники. : материал технической информации Место публикации : Измерительная техника. - М., 2009. - № 7. - С. 35-38 Примечания : Библиогр.: 14 назв. Предметные рубрики: Измерения Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нано - и микроэлектромеханические системы--тонкие пленки--тензорезистор--датчик--давление Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Васильев, В.А.; Громков, Н.В.