Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гусев А.С., Лясковский В.Л., Волошин Д.В. Заглавие : Сравнительные исследования измерительных возможностей методов атомно-силовой микроскопии и оптической интерферометрии : материал технической информации Место публикации : Измерительная техника. - М., 2010. - №8. - С. 34-36 Примечания : Библиогр.: 3 назв. Предметные рубрики: измерение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомно-силовая микроскопия--оптическая интерферометрия--методы неразрушающего контроля и исследования наноструктур Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Лясковский, В.Л.; Волошин, Д.В.