Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений [Текст] : стандарт. - Введ. с 01.01.2012. - М. : Стандартинформ, 2011. - 8 с. -
Рубрики: Рефлектометры - Поверка Экземпляры всего: 1 СВ (1) Свободны: СВ (1) |
Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн от 10 нм до 30 нм. Методика поверки [Текст] : стандарт. - Введ. с 01.01.2013. - Астана : Комитет технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан (Госстандарт), 2012. - 24 с. -
Рубрики: Рефлектометры - Поверка Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : СТ РК 2.224-2011.pdf или скачать Держатели документа: 11 Экземпляры всего: 1 СВ (1) Свободны: СВ (1) |