Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Генеральный сводный каталог РНТБ и филиалов"- результаты поиска

Вид поиска
Тестовая библиотечная БД
БД "Электронный каталог РНТБ"
БД "Регистрационная картотека периодических изданий РНТБ"
БД "Стандарты"
БД "Диссертации"
БД "Нормативно-техническая документация"
БД "Промышленные каталоги"
БД "Генеральный сводный каталог РНТБ и филиалов"
БД "Полнотекстовые ресурсы удаленного доступа"
БД "Нормативно-технические документы РНТБ и филиалов. Сводный каталог"
Область поиска
 Найдено в других БД:БД "Электронный каталог РНТБ" (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>K=ионная имплантация<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.
   539/Б 492

    Берлин, Евгений Владимирович.
    Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Текст] : монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с.242-255 (261 назв.) . - ISBN 978-5-94836-369-1 : 2580 тг.
ГРНТИ
29.19.04
УДК
539.216.2:621.793.7
Рубрики: Получение тонких пленок магнетронным распылением
Кл.слова (ненормированные):
реактивное распыление -- хемосорбция -- ионная имплантация -- парциальное давление реактивного газа

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Сейдман, Лев Александрович
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)