Валиев, К. А. Физика субмикронной литографии [Текст] / К.А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
П78 Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] : т. 4 / Под ред. Л. В. Великова. - М. : Наука, 1992. - 104 с. : ил. - (Российская академия наук. Физико-технологический ин-т. Труды ФТИАН). - ISBN 5-02-006868-3 : 15-00 тг.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ -- ПЛЕНКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- РЕНТГЕН Держатели документа: Актюбинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Великов , Л.В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 03-ЧЗ (1) Свободны: 03-ЧЗ (1) |
Моро, У. Микролитография:Принципы,методы,материалы [Текст] : в 2 ч. / Моро У. ; Пер. с англ. под ред.Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - . Ч.1 / У.Моро. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Тимеров, Р.Х. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Моро, У. Микролитография: Принципы, методы, материалы [Текст] / У. Моро; Перевод с англ. под ред. Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - . Ч.2 / Ред. Р.Х.Тимерова. - 1990. - 614 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001372-5 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Тимерова, Р.Х. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Скворцов, К. Ф. Изготовление рабочих элементов покрытий [Текст] : учеб. пособие для заоч. курсов повышения квалификации ИТР по покрытиям и поверхност. упрочению деталей в машиностроении / К.Ф. Скворцов; Центр. правл. Всесоюз. НТО машиностроителей, Ун-т техн. прогресса в машиностроении. - М. : Машиностроение, 1990. - 43 с. : ил. - Библиогр.: с. 44 (5 назв.). - ISBN 5-217-00787-7 : Б. ц.
Микролитография Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Моро, У. Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч. [] : пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова / У. Моро. - М : Мир, 1990 - . Ч.1 / Ред. Р.Х Тимеров. - 1990. - 606 с. - Б. ц.
Доп.точки доступа: Тимеров, Р.Х \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |