621.38/В155

    Валиев, К. А.
    Физика субмикронной литографии [Текст] / К.А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микролитография--интегральные схемы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38 П-781
   П78


   
    Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] : т. 4 / Под ред. Л. В. Великова. - М. : Наука, 1992. - 104 с. : ил. - (Российская академия наук. Физико-технологический ин-т. Труды ФТИАН). - ISBN 5-02-006868-3 : 15-00 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электроника
Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИК -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ -- ПЛЕНКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- РЕНТГЕН

Держатели документа:
Актюбинский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Великов , Л.В. \ред.\
Экземпляры всего: 1
03-ЧЗ (1)
Свободны: 03-ЧЗ (1)

   621.38/М800

   Моро, У.

    Микролитография:Принципы,методы,материалы [Текст] : в 2 ч. / Моро У. ; Пер. с англ. под ред.Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - .
   Ч.1 / У.Моро. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микролитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека

Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х. \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/М800

   Моро, У.

    Микролитография: Принципы, методы, материалы [Текст] / У. Моро; Перевод с англ. под ред. Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - .
   Ч.2 / Ред. Р.Х.Тимерова. - 1990. - 614 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001372-5 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микролитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека

Доп.точки доступа:
Тимерова, Р.Х. \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.793/С427

    Скворцов, К. Ф.
    Изготовление рабочих элементов покрытий [Текст] : учеб. пособие для заоч. курсов повышения квалификации ИТР по покрытиям и поверхност. упрочению деталей в машиностроении / К.Ф. Скворцов; Центр. правл. Всесоюз. НТО машиностроителей, Ун-т техн. прогресса в машиностроении. - М. : Машиностроение, 1990. - 43 с. : ил. - Библиогр.: с. 44 (5 назв.). - ISBN 5-217-00787-7 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Металлопокрытия тонкие--Получение
   Микролитография


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/М80

   Моро, У.

    Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч. [] : пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова / У. Моро. - М : Мир, 1990 - .
   Ч.1 / Ред. Р.Х Тимеров. - 1990. - 606 с. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы


Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)