621.3/Р605

    Родионов, Ю. А.
    Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Интегральные микросхемы
   Фотолитография

   Интегральные микросхемы, литография

Кл.слова (ненормированные):
Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена

Держатели документа:
Павлодарский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)
Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)

   621.38/Г524
   Г 52


    Глазков, И. М.
    Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии [Текст] : монография / И. М. Глазков. - М. : Совет.радио, 1975. - 73 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера.Электроника). - Библиогр.: с.69-72 (83 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Интегральные схемы--фотошаблоны

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)