Родионов, Ю. А. Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
Фотолитография Интегральные микросхемы, литография Кл.слова (ненормированные): Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена Держатели документа: Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 2 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) |
Г 52 Глазков, И. М. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии [Текст] : монография / И. М. Глазков. - М. : Совет.радио, 1975. - 73 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера.Электроника). - Библиогр.: с.69-72 (83 назв.) . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |