Р60 Родионов, Юрий Анатольевич Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учеб. / Юрий Анатольевич Родионов. - Минск : Изд-во "Дизайн ПРО", 1998. - 96 с. : Ил. - Библиогр.:С.95. - ISBN 985-6182-64-6 : 197.00 тг.
Кл.слова (ненормированные): фоторезисты -- травление -- оптические эффекты -- мультипликация -- дифракционные эффекты Держатели документа: Акмолинский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |