Берлин, Евгений Владимирович. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Текст] : монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с.242-255 (261 назв.) . - ISBN 978-5-94836-369-1 : 2580 тг.
Кл.слова (ненормированные): реактивное распыление -- хемосорбция -- ионная имплантация -- парциальное давление реактивного газа Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |