621.3/Р605

    Родионов, Ю. А.
    Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Интегральные микросхемы
   Фотолитография

   Интегральные микросхемы, литография

Кл.слова (ненормированные):
Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена

Держатели документа:
Павлодарский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)
Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)

   621.38 /К-93
   К93


    Курносов, А. И.
    Основы полупроводниковой микроэлектроники [Текст] : учеб.пособие / А.И.Курносов, В.А.Брук. - М. : Высш.шк., 1980. - 296 с. : ил. - 47-00 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковый электрод
Кл.слова (ненормированные):
ПОДЛОЖКИ -- ФОТОШАБЛОН -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ДИФФУЗИЯ -- ТРАНЗИСТОРЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ

Держатели документа:
Актюбинский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Брук, В.А.
Экземпляры всего: 1
03-ЧЗ (1)
Свободны: 03-ЧЗ (1)

   621.38 П-781
   П78


   
    Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] : т. 4 / Под ред. Л. В. Великова. - М. : Наука, 1992. - 104 с. : ил. - (Российская академия наук. Физико-технологический ин-т. Труды ФТИАН). - ISBN 5-02-006868-3 : 15-00 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электроника
Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИК -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ -- ПЛЕНКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- РЕНТГЕН

Держатели документа:
Актюбинский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Великов , Л.В. \ред.\
Экземпляры всего: 1
03-ЧЗ (1)
Свободны: 03-ЧЗ (1)

   621.38/М749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупрводниковых приборов и микрсхем [Текст] : учеб.для сред.ПТУ / О.К. Мокеев, А.С. Романов. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Профтехобразование). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Учебники и пособия
   Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебники и пособия


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 3
ХР (3)
Свободны: ХР (3)

   77/К440

    Киселев, А. Я.
    Фотоматериалы:обработка,печать [Текст] : монография / А.Я. Киселев. - Л. : Лениздат, 1986. - 157 с. : ил. - Библиогр.: с. 156. - 0.75 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Светочувствительные материалы--фотография
   Экспортирование--обработка--фотография

   Фотолитография


Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
08-ХР (1)
Свободны: 08-ХР (1)

   621.382/Б786

    Боков, Ю. С.
    Фот-,электронно- и рентгенорезисты [Текст] : монография / Ю.С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135(155 назв.). - 0.50 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковая электроника на интегральных схемах--производство

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
08-ХР (2)
Свободны: 08-ХР (2)

   621.382/М749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. для сред. ПТУ / О.К. Мокеев; О.К. Макеев, А.С. Романов. - 2-е изд. перераб. и доп. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Проф.-техн.образование). - 0.60 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография--учебники
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные -- интегральные схемы

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 2
08-ХР (2)
Свободны: 08-ХР (2)

   621.38/К74
   М74


    Мокеев О.К.,Романов А.С.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие для училищ / Мокеев О.К.,Романов А.С.; О.К.,Романов А.С. Мокеев. - 2-е изд.,перераб. и доп. - М : Высш. шк. , 1985. - 312 с : ил. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Семипалатинский филиал РНТБ Казахстана
Свободных экз. нет

   621.38/Б484
   Б 48


    Березин, Геннадий Николаевич.
    Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - М. : Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил. - Библиогр.: с.98-101 (57 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография--оптические методы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Никитин, Аркадий Викторович; Сурис, Роберт Арнольдович
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/Б786
   Б 78


    Боков, Ю. С.
    Фото-, электронно- и рентгенорезисты [Текст] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135 (155 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/В155
   В 15


    Валиев, К. А.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] : монография / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография--микроэлектронные схемы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Раков, А.В.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   655/В240
   В 24


   
    Введение в фотолитографию [Текст] : монография / Ю.С.Боков [и др.]. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с.379-397 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Боков, Ю.С.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/С797
   С 79


    Стерликов, В. А.
    Технология фототехнических процессов [Текст] : учеб.пособие для вузов / В. А. Стерликов ; Моск.полигр.ин-т. - М. : МПИ, 1988. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.72 (7 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Микроэлектронные схемы интегральные--производство


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Уарова, Р.М.; Чуркин, А.В.; Моск.полигр.ин-т
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/М 749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб.пособие для техн.училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высш.шк., 1979. - 272 с. : ил. - (Профтехообразование: Радиоэлектроника). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы
   Микроэлектронные схемы


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38
   П73


    Пресс, Ф. П.
    Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Южно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
ЧЗ (1)
Свободны: ЧЗ (1)

   621.38/Ф 815

   
    Фотолитография и оптика [Текст] : монография / Я. А. Федотов [и др.]; ред. Я. А. Федотов. - М. : Сов.радио, 1974. - 392 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковые приборы--Производство


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Федотов, Я.А.; Федотов, Я.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.382/Г524

    Глазков, И. М.
    Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитрографии [Текст] / И. М. Глазков. - М. : Сов. радио, 1975. - 72 с. : ил. - Библиогр.: с.69-72 (83 назв.0 . -
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотошаблон--Фотолитография

Держатели документа:
Актюбинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
03-ХР (1)
Свободны: 03-ХР (1)

   621.36/П 734

    Пресс, Ф. П.
    Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с.191-199 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Фотолитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)