Родионов, Ю. А. Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
Фотолитография Интегральные микросхемы, литография Кл.слова (ненормированные): Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена Держатели документа: Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 2 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) |
К93 Курносов, А. И. Основы полупроводниковой микроэлектроники [Текст] : учеб.пособие / А.И.Курносов, В.А.Брук. - М. : Высш.шк., 1980. - 296 с. : ил. - 47-00 тг.
Кл.слова (ненормированные): ПОДЛОЖКИ -- ФОТОШАБЛОН -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ДИФФУЗИЯ -- ТРАНЗИСТОРЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ Держатели документа: Актюбинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Брук, В.А. Экземпляры всего: 1 03-ЧЗ (1) Свободны: 03-ЧЗ (1) |
П78 Проблемы микроэлектронной технологии [Текст] : т. 4 / Под ред. Л. В. Великова. - М. : Наука, 1992. - 104 с. : ил. - (Российская академия наук. Физико-технологический ин-т. Труды ФТИАН). - ISBN 5-02-006868-3 : 15-00 тг.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ -- ПЛЕНКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- РЕНТГЕН Держатели документа: Актюбинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Великов , Л.В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 03-ЧЗ (1) Свободны: 03-ЧЗ (1) |
Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупрводниковых приборов и микрсхем [Текст] : учеб.для сред.ПТУ / О.К. Мокеев, А.С. Романов. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Профтехобразование). - Б. ц.
Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебники и пособия Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Романов, А.С. Экземпляры всего: 3 ХР (3) Свободны: ХР (3) |
Киселев, А. Я. Фотоматериалы:обработка,печать [Текст] : монография / А.Я. Киселев. - Л. : Лениздат, 1986. - 157 с. : ил. - Библиогр.: с. 156. - 0.75 р.
Экспортирование--обработка--фотография Фотолитография Держатели документа: Карагандинский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 1 08-ХР (1) Свободны: 08-ХР (1) |
Боков, Ю. С. Фот-,электронно- и рентгенорезисты [Текст] : монография / Ю.С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135(155 назв.). - 0.50 р.
Полупроводниковая электроника на интегральных схемах--производство Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные Держатели документа: Карагандинский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 2 08-ХР (2) Свободны: 08-ХР (2) |
Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. для сред. ПТУ / О.К. Мокеев; О.К. Макеев, А.С. Романов. - 2-е изд. перераб. и доп. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Проф.-техн.образование). - 0.60 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные -- интегральные схемы Держатели документа: Карагандинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Романов, А.С. Экземпляры всего: 2 08-ХР (2) Свободны: 08-ХР (2) |
М74 Мокеев О.К.,Романов А.С. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие для училищ / Мокеев О.К.,Романов А.С.; О.К.,Романов А.С. Мокеев. - 2-е изд.,перераб. и доп. - М : Высш. шк. , 1985. - 312 с : ил. - Б. ц.
Держатели документа: Семипалатинский филиал РНТБ Казахстана Свободных экз. нет |
Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - М. : Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил. - Библиогр.: с.98-101 (57 назв.) . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Никитин, Аркадий Викторович; Сурис, Роберт Арнольдович Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Б 78 Боков, Ю. С. Фото-, электронно- и рентгенорезисты [Текст] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135 (155 назв.) . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
В 15 Валиев, К. А. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] : монография / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Раков, А.В. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
В 24 Введение в фотолитографию [Текст] : монография / Ю.С.Боков [и др.]. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с.379-397 . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Боков, Ю.С. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
С 79 Стерликов, В. А. Технология фототехнических процессов [Текст] : учеб.пособие для вузов / В. А. Стерликов ; Моск.полигр.ин-т. - М. : МПИ, 1988. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.72 (7 назв.) . - Б. ц.
Микроэлектронные схемы интегральные--производство Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Уарова, Р.М.; Чуркин, А.В.; Моск.полигр.ин-т Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб.пособие для техн.училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высш.шк., 1979. - 272 с. : ил. - (Профтехообразование: Радиоэлектроника). - Б. ц.
Микроэлектронные схемы Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Романов, А.С. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
П73 Пресс, Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. - Б. ц.
Держатели документа: Южно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |
Фотолитография и оптика [Текст] : монография / Я. А. Федотов [и др.]; ред. Я. А. Федотов. - М. : Сов.радио, 1974. - 392 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.
Полупроводниковые приборы--Производство Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Федотов, Я.А.; Федотов, Я.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Глазков, И. М. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитрографии [Текст] / И. М. Глазков. - М. : Сов. радио, 1975. - 72 с. : ил. - Библиогр.: с.69-72 (83 назв.0 . -
Держатели документа: Актюбинский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 1 03-ХР (1) Свободны: 03-ХР (1) |
Пресс, Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с.191-199 . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |