Родионов, Ю. А. Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
Фотолитография Интегральные микросхемы, литография Кл.слова (ненормированные): Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена Держатели документа: Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 2 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1) |
Р60 Родионов, Юрий Анатольевич Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учеб. / Юрий Анатольевич Родионов. - Минск : Изд-во "Дизайн ПРО", 1998. - 96 с. : Ил. - Библиогр.:С.95. - ISBN 985-6182-64-6 : 197.00 тг.
Кл.слова (ненормированные): фоторезисты -- травление -- оптические эффекты -- мультипликация -- дифракционные эффекты Держатели документа: Акмолинский филиал РНТБ Казахстана Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |
Ф 81 Фоторезисты-дифузанты в полупроводниковой технологии [Текст] : монография / Е. Г. Гук [и др.]; ред. А. В. Ельцов ; АН СССР. Физ.-техн.ин-т им. А.Ф.Иоффе. - Л. : Наука.Ленингр.отд-ние, 1984. - 117 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Гук, Е.Г.; Ельцов, А.В. \ред.\; АН СССР. Физ.-техн.ин-т им. А.Ф.Иоффе Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |