К78 Крапухин, Всеволод Валерьянович Технология материалов электронной техники.Теория процессов полупроводниковой технологии [Текст] : учеб.для вузов по спец."Материалы и компоненты твердотел.электроники" / Всеволод Валерьянович Крапухин; В.В.Крапухин,И.А.Соколов,Г.Д.Кузнецов. - 2-е изд.,перераб.и доп. - М. : МИСИС, 1995. - 495 с. : ил. - Библиогр.:с.490-492. - ISBN 5-87623-004-9 : 450-00 тг.
Кл.слова (ненормированные): монокристаллы -- эпитаксиальные слои Держатели документа: Акмолинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Соколов, Игорь Александрович; Кузнецов, Геннадий Дмитриевич Экземпляры всего: 1 02-ЧЗ (1) Свободны: 02-ЧЗ (1) |