Г 52 Глазков, И. М. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии [Текст] : монография / И. М. Глазков. - М. : Совет.радио, 1975. - 73 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера.Электроника). - Библиогр.: с.69-72 (83 назв.) . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |