Валиев, К. А. Физика субмикронной литографии [Текст] / К.А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |