621.382/Б786

    Боков, Ю. С.
    Фот-,электронно- и рентгенорезисты [Текст] : монография / Ю.С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135(155 назв.). - 0.50 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковая электроника на интегральных схемах--производство

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
08-ХР (2)
Свободны: 08-ХР (2)