621.3/Р605

    Родионов, Ю. А.
    Литография в производстве интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для учащихся ПТУ / Ю.А. Родионов. - М. : Дизайн ПРО, 1998 ; Мн. : Дизайн ПРО, 1998. - 96 с. : ил. - ISBN 985-6182-64-6 : 52-00 тг. - ISBN 985-6182-64-6 : 171.36 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Интегральные микросхемы
   Фотолитография

   Интегральные микросхемы, литография

Кл.слова (ненормированные):
Фоторезисторы -- Фотошаблоны -- Изображение -- Шаблоны -- Топологии -- Термины -- фотолитография -- фоторезисты -- фотошаблоны -- техника безопасности -- электронно-вакуумная гигиена

Держатели документа:
Павлодарский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)
Свободны: 09-ЧЗ (1), ЧЗ (1)

   77/К440

    Киселев, А. Я.
    Фотоматериалы:обработка,печать [Текст] : монография / А.Я. Киселев. - Л. : Лениздат, 1986. - 157 с. : ил. - Библиогр.: с. 156. - 0.75 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Светочувствительные материалы--фотография
   Экспортирование--обработка--фотография

   Фотолитография


Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
08-ХР (1)
Свободны: 08-ХР (1)

   621.382/Б786

    Боков, Ю. С.
    Фот-,электронно- и рентгенорезисты [Текст] : монография / Ю.С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135(155 назв.). - 0.50 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковая электроника на интегральных схемах--производство

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
08-ХР (2)
Свободны: 08-ХР (2)

   621.38/Б786
   Б 78


    Боков, Ю. С.
    Фото-, электронно- и рентгенорезисты [Текст] / Ю. С. Боков. - М. : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры). - Библиогр.: с.129-135 (155 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   655/В240
   В 24


   
    Введение в фотолитографию [Текст] : монография / Ю.С.Боков [и др.]. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с.379-397 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Боков, Ю.С.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/С797
   С 79


    Стерликов, В. А.
    Технология фототехнических процессов [Текст] : учеб.пособие для вузов / В. А. Стерликов ; Моск.полигр.ин-т. - М. : МПИ, 1988. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.72 (7 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Микроэлектронные схемы интегральные--производство


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Уарова, Р.М.; Чуркин, А.В.; Моск.полигр.ин-т
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/Ф 815

   
    Фотолитография и оптика [Текст] : монография / Я. А. Федотов [и др.]; ред. Я. А. Федотов. - М. : Сов.радио, 1974. - 392 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография
   Полупроводниковые приборы--Производство


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Федотов, Я.А.; Федотов, Я.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)