621.3/Э453

   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [] : монография / Под ред. Дж.Р. Брюэра; Пер. с англ. под ред. Ф.П. Пресса ; Дж.Р. Брюэр, Д.Р. Херриот и др. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство
   Электронно-лучевая обработка


Держатели документа:
Павлодарский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Брюэр, Дж.Р. \ред.\; Пресс, Ф.П. \пер.\
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.9/Э455
   Э 45


   
    Электронно-лучевая обработка материалов [Текст] / В.Н.Алехнович [и др.] ; Нац.акад.наук Беларуси. - Минск : Белорус.наука, 2006. - 318 с. : ил. - Библиогр.: с.305-314 (194 назв.). - ISBN 985-08-0773-3 : 3145 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электронно-лучевая обработка

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Алехнович, Владимир Никифорович
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.7/Ш581
   Ш 58


    Шиллер, З.
    Электронно-лучевая технология [Текст] : пер.с нем. / З. Шиллер, У. Гайзиг, З. Панцер. - М. : Энергия, 1980. - 528 с. : ил. - Библиогр.: с.476-523. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электронно-лучевая обработка

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Гайзиг, У.; Панцер, З.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)