Карбань, В. И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике [] : монография / В.И. Карбань, Ю.И.Борзаков. - М. : Радио и связь, 1988 ; М. : Радио и связь, 1988. - 103 с. : ил. - (Массовая б-ка инженера "Электрон") (Массовая б-ка инженера "Электрон"). - Б. ц.
Микроэлектронные схемы--производство Микроэлектроника Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Жамбылский филиал РНТБ Казахстана Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Восточно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Борзаков, Ю.И. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |