Моро, У. Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч. [] : пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова / У. Моро. - М : Мир, 1990 - . Ч.1 / Ред. Р.Х Тимеров. - 1990. - 606 с. - Б. ц.
Доп.точки доступа: Тимеров, Р.Х \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |