П-13/936
   П78


   
    Проблемы субмикронной технологии [Текст]. - М. : Наука, 1993. - 111,/2/ с. : ил. - (Тр.Рос.АН.Физико-технол.ин-т;Т.6). - Библиогр.в конце ст. - ISBN 5-02-006991-4 : Б. ц.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Полупроводниковые приборы,прво

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Свободных экз. нет

   621.382/П734

    Пресс, Ф. П.
    Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Сов. радио, 1978. - 96 с. - Библиогр. в конце кн. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
08-ХР (1)
Свободны: 08-ХР (1)

   621.38/Г124
   Г 12


    Гаврилов, Р. А.
    Технология производства полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов. - Л. : Энергия.Ленингр.отд-ние, 1968. - 240 с. : ил. - Библиогр.: с.229-237 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Скворцов, А.М.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/Д810
   Д 81


    Дударчик, А. И.
    Контроль полупроводниковых приборов жидкими кристаллами [Текст] : монография / А. И. Дударчик, В. А. Семин, Б. И. Горбунов. - Минск : Наука и техника, 1983. - 119 с. : ил. - Библиогр.: с.113-117 (77 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Семин, В.А.; Горбунов, Б.И.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/Б249
   Б 24


    Барил, М. А.
    Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] : монография / М. А. Барил, В. К. Самойликов. - М. : Энергия, 1978. - 112 с. : ил. - (Б-ка технолога радиоэлектрон.аппаратуры. Вып.12). - Библиогр.: с.110 (43 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Оборудование
   Микроэлектронные схемы, интегральные--Оборудование


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Самойликов, В.К.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

621.3/В364/В 36-037483
   621.31/В364
   В 36


    Верховцев, О. Г.
    Практические советы мастеру - любителю по электротехнике и электронике [Текст] : монография / О. Г. Верховцев, К. П. Лютов. - Л. : Энергоатомиздат.Ленингр.отд-ние, 1984. - 198 с. : ил. - Библиогр.: с.193 (6 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электротехнические изделия самодельные

Держатели документа:
Северо-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Лютов, К.П.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/Г616
   Г 61


    Голото, И. Д.
    Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] : монография / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - М. : Энергия, 1975. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с.203-207 (90 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Докучаев, Б.П.; Колмогоров, Г.Д.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/О-224

   
    Оборудование полупроводникового производства [Текст] : монография / П. Н. Масленников [и др.]. - М. : Радио и связь, 1981. - 336 с. : ил. - Библиогр.: с. 330-333 (91 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Масленников, П.Н.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/Д699
   Д 69


    Дорфман, В. Ф.
    Микрометаллургия в микроэлектронике: принципы технологии в полупроводниковом приборостроении [Текст] : монография / В. Ф. Дорфман. - М. : Металлургия, 1978. - 272 с. : ил. - Библиогр.: с.261-268. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/К 125

    Каверзнев, В. А.
    Статическое электричество в полупроводниковой промышленности [Текст] : монография / В. А. Каверзнев, А. А. Зайцев, Ю. А. Овечкин. - М. : Энергия, 1975. - 113 с. : ил. - Библиогр.: с.110-112 (58 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Электричество статическое

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Зайцев, А.А.; Овечкин, Ю.А.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.38/С 404

    Сироткин, В. С.
    Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов [Текст] : монография / В. С. Сироткин, Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1979. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с.202-207 (104 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Пресс, Ф.П.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/Ф 333

    Федоров, Л. П.
    Производство полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Л. П. Федоров, В. М. Багров, Ю. Н. Тихонов ; ред. Л. А. Петрова. - М. : Энергия, 1979. - 432 с. : ил. - Библиогр.: с.426-428 (57 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Багров, В.М.; Тихонов, Ю.Н.; Петрова, Л.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/К 652

    Концевой, Ю. А.
    Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ю. А. Концевой, В. Д. Кудин. - М. : Энергия, 1973. - 142 с. : ил. - (Б-ка радиотехнолога ; вып.2). - Библиогр.: с.132-140 (34 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Кудин, В.Д.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/М 135

    Мазель, Е. З.
    Планирная технология кремниевых приборов [Текст] : монография / Е. З. Мазель, Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1974. - 384 с. - Библиогр.: с. 368-382. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Пресс, Ф.П.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38/М 316

    Маслов, А. А.
    Технология и конструкции полупроводниковых приборов [Текст] : монография / А. А. Маслов. - М. : Энергия, 1970. - 296 с. : ил. - Библиогр.: с.292-293 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.38
   П73


    Пресс, Ф. П.
    Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Южно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
ЧЗ (1)
Свободны: ЧЗ (1)

   621.38/М 809

    Моряков, О. С.
    Производство корпусов полупроводниковых приборов [Текст] : учеб.пособие / О. С. Моряков. - М. : Высш.шк., 1968. - 167 с. : ил. - Библиогр.: с.165 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Корпус--Производство

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)