Гиваргизов, Евгений Инвиевич. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной микроэлектроники [Текст] / Е.И. Гиваргизов. - М. : Наука, 1988. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с.158-176 . - ISBN 5-02-013845-2 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |