Пресс, Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : монография / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с.191-199 . - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |