621.38/М79
   М80


    Моряков, О. С.
    Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учеб. для училищ / О.С. Моряков. - 4-е изд., перераб. и доп. - М : Высш. шк, 1989. - 239 с : ил. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковая электроника--Учебник

Держатели документа:
Семипалатинский филиал РНТБ Казахстана
Свободных экз. нет