Валиев, К. А. Физика субмикронной литографии [Текст] / К.А. Валиев. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-02-014381-2 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
В 15 Валиев, К. А. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] : монография / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347 (224 назв.). - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Раков, А.В. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
С 79 Стерликов, В. А. Технология фототехнических процессов [Текст] : учеб.пособие для вузов / В. А. Стерликов ; Моск.полигр.ин-т. - М. : МПИ, 1988. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.72 (7 назв.) . - Б. ц.
Микроэлектронные схемы интегральные--производство Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Уарова, Р.М.; Чуркин, А.В.; Моск.полигр.ин-т Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |