621.38/В363

    Верховский, Е. И.
    Лазерная технология в производстве интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для ПТУ / Е.И. Верховский. - М. : Высш. шк., 1990 ; М. : Высш. шк., 1990. - 54 с. : ил. - ISBN 5-06-001078-3 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Интегральные схемы (электроника)--Учебники
   Лазеры (радиотехника)

   Интегральные схемы (электроника)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- полупроводники -- квантовая -- полупроводниковые -- квантовые

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Павлодарский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)