Джоветт, Ч. Е. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники [] : монография / Ч.Е. Джоветт; Под ред. Е.Б.Соколова. - М. : Металлургия, 1980. - 112 с. - Библиогр.:с.106-111. - Б. ц.
Интегральные микросхемы Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Соколов, Е.Б. \ред.\ Экземпляры всего: 5 ХР (5) Свободны: ХР (5) |
Моро, У. Микролитография:Принципы,методы,материалы [Текст] : в 2 ч. / Моро У. ; Пер. с англ. под ред.Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - . Ч.1 / У.Моро. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Тимеров, Р.Х. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Моро, У. Микролитография: Принципы, методы, материалы [Текст] / У. Моро; Перевод с англ. под ред. Р.Х.Тимерова. - М. : Мир, 1990 - . Ч.2 / Ред. Р.Х.Тимерова. - 1990. - 614 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001372-5 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Тимерова, Р.Х. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |