Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : ил. - Загл. на корешке : Применение плазмы.. - Библиогр.: с.316-324 (182 назв.) . - ISBN 5-283-03939-0 : Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |