621.793/Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : ил. - Загл. на корешке : Применение плазмы.. - Библиогр.: с.316-324 (182 назв.) . - ISBN 5-283-03939-0 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Пленки тонкие--осаждение

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)