Иф621.5/Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Откачка агрессивных и токсичных сред [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Цинтихимнефтемаш, 1989. - 66 с. : ил. - Библиогр.: с.65-66 (22 назв.) . - Б. ц.
На обл.авт.не указан.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Вакуум-насосы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека
Экземпляры всего: 4
ХР (4)
Свободны: ХР (4)

   621.794/Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов [Текст] / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 262 с. : ил. - Загл. на корешке : Применение плазмы для травления и очистки. - Библиогр.: с.252-260 (195 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Травление плазменное

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека

Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.793/Д182

    Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : ил. - Загл. на корешке : Применение плазмы.. - Библиогр.: с.316-324 (182 назв.) . - ISBN 5-283-03939-0 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Пленки тонкие--осаждение

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.5/Д 182

    Данилин, Борис Степанович.
    Основы конструирования вакуумных систем. [Текст] : монография / Борис Степанович Данилин. - М. : Энергия, 1971. - 392 с. : ил. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Вакуумные системы.--Конструкция и расчет.

Держатели документа:
Северо-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Минайчев, Виктор Егорович; Нилендер, Р.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
11ХР (1)
Свободны: 11ХР (1)