621.382/Д 952
   Д95


    Дюваль, П.
    Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности [Текст] : пер. с англ / П. Дюваль. - М. : Мир, 1992. - 262 c. - 47-00 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковая электроника
Кл.слова (ненормированные):
проводимость -- диоды -- транзисторы -- изоляторы -- диэлектрики -- схемы

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана
Экземпляры всего: 1
08-ХР (1)
Свободны: 08-ХР (1)