К96 Кушнарев, Р. Б.и др. Применение синхротронного излучения в литографических процессах [Текст] / Р.Б.и др. Кушнарев, Л.В. Гумматова, Б.Я. КолесниковКушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б. ; Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я. - Алма-Ата : [б. и.], 1992. - 53 с. - Библиогр.:с.36-53 (202 назв.). - Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): Интегральные схемы -- Микроэлектроника -- Литография Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Гумматова, Л.В.; Колесников, Б.Я. Свободных экз. нет |
К96 Кушнарев, Р. Б.и др. Методы определения конечной точки процессов сухого травления [Текст] / Р.Б.и др. Кушнарев, Л.В. Гумматова, Б.Я. КолесниковКушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б.Кушнарев Р.Б. ; Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я.Гумматова Л.В.,Колесников Б.Я. - Алма-Ата : [б. и.], 1990. - 44 с. - Библиогр.в конце текста. - Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): Интегральные схемы -- Травление Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Гумматова, Л.В.; Колесников, Б.Я. Свободных экз. нет |