621.315/П 174

    Папков, В. С.
    Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе [Текст] : монография / В. С. Папков, М. Б. Цыбульников ; ред. А. Ю. Малинин. - М. : Энергия, 1979. - 89 с. : ил. - Библиогр.: с.85-88 (69 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые пленки--Получение

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Цыбульников, М.Б.; Малинин, А.Ю. \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)