Черняев, Александр Владимирович. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] : монография / А. В. Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85 с. : ил. - Библиогр.:с.83-86 (66 назв.). - ISBN 5-256-00740-8 : Б. ц.
Галлий,арсенид--Легирование ионное Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |