537/Р 546

    Риссел, Х.
    Ионная имплантация [Текст] : пер.с нем. / Х. Риссел, И. Руге. - М. : Наука, 1983. - 360 с. : ил. - Библиогр.: с.345-360 . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--легирование ионное


Доп.точки доступа:
Руге, И.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.315/З-862

    Зорин, Е. И.
    Ионное легирование полупроводников [Текст] : монография / Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум. - М. : Энергия, 1975. - 129 с. : ил. - (Библиотека радиотехнолога ; вып.6). - Библиогр.: с.120-128 (139 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное


Доп.точки доступа:
Павлов, П.В.; Тетельбаум, Д.И.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.315/Л 385

   
    Легирование полупроводников ионным внедрением [Текст] : сб.ст. - М. : Мир, 1971. - 531 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--легирование ионное

Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.315/Т 384

   
    Технология ионного легирования [Текст] : пер.с яп. / ред. С. Намба. - М. : Совет.радио, 1974. - 158 с. : ил. - Библиогр.: с. 140-156 (244 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--легирование ионное


Доп.точки доступа:
Намба, С. \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)