621.38/Ф503
   Ф 50


   
    Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников [Текст] : монография / Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова. - М. : Радио и связь, 1982. - 137 с. : ил. - Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--Обработка


Доп.точки доступа:
Луфт, Б.Д.; Перевощиков, В.А.; Возмилова, Л.Н.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.315/О-230

   
    Обработка полупроводниковых материалов [Текст] : монография / В. И. Карбань [и др.] ; ред. Н. В. Новикова ; АН УССР, Ин-т сверхтвердых материалов. - Киев : Наук.думка, 1982. - 254 с. : ил. - Библиогр.: с. 235-252 (388 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--Обработка


Доп.точки доступа:
Карбань, В.И.; Новикова, Н.В. \ред.\
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)

   621.315/М 545

   
    Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов [Текст] : монография / А.И.Татаренков [и др.]. - М. : Энергия, 1978. - 64 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып.13). - Библиогр.: с.9-59-63 (70 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--обработка


Доп.точки доступа:
Татаренков, А.И.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)