621.38/М809    М 80     Моряков, О. С.     Устройства и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учеб.для ПТУ / О.С. Моряков. - 4-е изд.,перераб.и доп. - М. : Высш.шк., 1989. - 235 с. : ил. - Библиогр.:с.237. - ISBN 5-06-000300-0 : Б. ц. ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.382.002.5(075.32) Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Оборудование--Учебники Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2)