621.3/С773
   С 77


    Старостин, Виктор Васильевич.
    Материалы и методы нанотехнологий [Текст] : учеб.пособие / В. В. Старостин ; ред. Л. Н. Патрикеев ; Под ред.Л.Н.Патрикеева. - М. : Бином.Лаборатория знаний, 2008. - 431 с. : ил. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с.424-426 (41 назв.) . - ISBN 978-5-94774-727-0 : 1765 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектронные наноструктуры
Кл.слова (ненормированные):
фуллерены -- гетерогенные процессы -- литография


Доп.точки доступа:
Патрикеев, Л.Н. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)

   621.3/В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учеб.пособие для вузов: в 2-х т. / Под ред.Ю.Н.Коркишко. - М. : Бином.Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнология). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т.2 : Технологические аспекты / М.В.Акуленок [и др.]. - 252 с. : ил. - Библиогр.: с.242-248 (110 назв.) . - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 2960 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектроника--Нанотехнологии


Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Акуленок, М.В.
Экземпляры всего: 1
ЧЗ (1)
Свободны: ЧЗ (1)