Технология материалов микро- и наноэлектроники [Текст] : монография / Л. В. Кожитов [и др.]. - М. : МИСИС, 2007. - 542 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-87623-132-7 : 4500 тг.
Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |