Полтавцев, Ю. Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] : монография / Ю.Г. Полтавцев, А.С. Князев. - Киев : Тэхника, 1990. - 205 с : граф. - Библиогр.:с.197-204 (127 назв.). - ISBN 5-335-00572-6 : Б. ц.
Доп.точки доступа: Князев, А.С. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ф 50 Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников [Текст] : монография / Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова. - М. : Радио и связь, 1982. - 137 с. : ил. - Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Луфт, Б.Д.; Перевощиков, В.А.; Возмилова, Л.Н. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Данилин, Б. С. Ионное травление микроструктур [Текст] : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Совет.радио, 1979. - 103 с. : ил. - Библиогр.: с.95-102 (158 назв.) . - Б. ц.
Доп.точки доступа: Киреев, В.Ю. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Пролейко, В. М. Системы управления качеством изделий микроэлектроники: теория и применение [Текст] : монография / В. М. Пролейко, В. А. Абрамов, В. Н. Брюнин. - М. : Сов.радио, 1976. - 223 с. : ил. - Библиогр.: с.215-219 (142 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Абрамов, В.А.; Брюнин, В.Н. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |