621.3/Г124
   Г 12


    Гаврилов, Сергей Александрович.
    Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учеб.пособие для вузов / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - М. : Высш.образование, 2009. - 257 с. : ил. - Библиогр.: с.256-257 (26 назв.) . - ISBN 978-5-9692-0304-4 : 1890 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектроника
   Наноэлектроника



Доп.точки доступа:
Белов, Алексей Николаевич
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)