Данилин, Б. С. Магнетронные распылительные системы [Текст] : монография / Б. С. Данилин. - М. : Радио и связь, 1982. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.69-72 (82 назв.) . - Б. ц.
Распылители магнетронные Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Киреев, В. Ю. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] : монография / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып.36). - Библиогр.: с.121-125 (92 назв.) . - Б. ц.
Доп.точки доступа: Данилин, Б.С.; Кузнецов, В.И. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Данилин, Б. С. Ионное травление микроструктур [Текст] : монография / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Совет.радио, 1979. - 103 с. : ил. - Библиогр.: с.95-102 (158 назв.) . - Б. ц.
Доп.точки доступа: Киреев, В.Ю. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Данилин, Б. С. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] : монография / Б. С. Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып.10). - Библиогр.: с.128-134 (108 назв.) . - Б. ц.
Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Данилин, Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] : монография / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1972. - 256 с. - Библиогр.: с.245-254. - Б. ц.
Доп.точки доступа: Нилендер, Р.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Данилин, Б. С. Основы конструирования вакуумных систем [Текст] : монография / Б. С. Данилин, В. Е. Минайчев ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1971. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-391 (102 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Минайчев, В.Е.; Нилендер, Р.А. \ред.\ Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |
Данилин, Б. С. Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] : монография / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1967. - 312 с. : ил. - Библиогр.: с.304-311 (166 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Нилендер, Р.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |