621.315/З-862

    Зорин, Е. И.
    Ионное легирование полупроводников [Текст] : монография / Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум. - М. : Энергия, 1975. - 129 с. : ил. - (Библиотека радиотехнолога ; вып.6). - Библиогр.: с.120-128 (139 назв.). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное


Доп.точки доступа:
Павлов, П.В.; Тетельбаум, Д.И.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)