Х 22 Харченко, Валерий Владимирович. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем [Текст] : монография / АН УзССР, Центр.проект-конструк. и технол. бюро науч.приборостроения. - Ташкент : Фан, 1989. - 167 с. : ил. - ISBN 5-648-00390-0 : Б. ц.
Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |