Соколов, Л. В. Высокостабильные высокотемпературные микроэлектромеханические преобразователи нового поколения на основе гетероструктуры кремний-на-изоляторе. [Текст] : материал технической информации / Л. В. Соколов // Измерительная техника. - 2009. - Библиогр.: 12 назв. Рубрики: Измерения Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханический преобразователь -- гетероструктура кремний-на-изоляторе Держатели документа: РНТБ |