Алексахин, А. В.
    Разработка автоматизированной системы выбора оптимального технологического процесса разделения слитков на пластины [Текст] / А. В. Алексахин // КИП и автоматика обслуживание и ремонт. - 2019. - № 3. - С. 64-77. - Библиогр.: с. 12 назв.
Рубрики: Автоматизация производственных процессов
Кл.слова (ненормированные):
обрабатывающая промышленность -- резка слитков -- автоматизация.
Аннотация: Представлен анализ возможности создания автоматизированных систем оптимизации технологического процесса резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины. Приведен обзор методов алмазно-абразивного разделения твердых хрупких материалов на пластины. Описаны методы изготовления режущих кромок инструмента со связанным абразивом, используемого для резки твердых хрупких материалов (ТХМ). Проведен анализ современных взглядов на механизмы разрушения ТХМ при грубой абразивной обработке и строение нарушенного слоя после такой обработке. Описаны методы исследования структурно-дефектных слоев в монокристаллах.

Держатели документа:
РНТБ