Золоторевский, Ю. М.     Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур. [Текст] : материал технической информации / Ю. М. Золоторевский, С. И. Аневский, В. С. Иванов // Измерительная техника. - 2010. - №7. - С. 32-35. - Библиогр.: 5 назв. Рубрики: измерение Кл.слова (ненормированные): синхротронное излучение -- многослойные наноструктуры -- наноэлектроника -- фотолитография Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Аневский, С.И.; Иванов, В.С.