Свойства и структура нанотолщинных слоев нитрида кремния, формируемых на поверхности полиимида низкотемпературным плазмохимическим синтезом [Текст] / Д. Ю. Обижаев, С. А. Жукова [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 9. - С. 14-20. - Библиогр.: 19 назв. Рубрики: Нанотолщинные слои --нитрид кремния Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Обижаев, Д.Ю.; Жукова, С.А.; Бабаевский, П.Г.; Четверов, Ю.С.